利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地dao致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)，所以白光干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所*的。

 

　　白光干涉儀的特征：

　　◆較高的垂直分辨率，較強(qiáng)大的測(cè)量性能；

　　0.5~200倍的放大倍率；

　　任何倍率下亞埃級(jí)至毫米級(jí)垂直測(cè)量量程；

　　高分辨率攝像頭；

　　◆測(cè)量硬件的*設(shè)計(jì)，增強(qiáng)生產(chǎn)環(huán)境中的可靠性和重復(fù)性；

　　較高的震動(dòng)的容忍度和GR&R測(cè)量的能力

　　自動(dòng)校準(zhǔn)能力；

　　◆多核處理器下運(yùn)行的Vision64軟件，大大提高三維表面測(cè)量和分析速度

　　數(shù)據(jù)處理速度提高幾十倍；

　　分析速度提高十倍；

　　無(wú)以倫比的大量數(shù)據(jù)無(wú)縫拼接能力；

　　◆高度直觀的用戶界面，擁有較強(qiáng)的實(shí)用性，操作簡(jiǎn)便和分析功能強(qiáng)大

　　優(yōu)化的用戶界面大大簡(jiǎn)化測(cè)量和數(shù)據(jù)分析過(guò)程；

　　*的可視化操作工具；

　　可自行設(shè)置數(shù)據(jù)輸出的界面。